[发明专利]反射镜装置

摘要

本发明提供一种反射镜装置。在第一可动框和第二可动框、将第二可动框与固定框进行连接的梁通过反射镜中心并沿轴排列的双轴反射镜装置中，使第二可动框进行动作的激励器由第一激励器和第二激励器这两个激励器构成，从可动框的旋转角为零的状态开始由第一激励器使第二可动框开始旋转，在达到了特定的旋转角后，由第二激励器使第二可动框旋转，由此即使是非谐振驱动也将获得较大的摆动角。

主权项

一种反射镜装置，其具备用于在作为屏幕的面上扫描激光来投影图像的反射镜、安装有该反射镜的第一可动框、通过第一梁与该第一可动框相连接的第二可动框、以及通过第二梁与该第二可动框相连接的固定框，该反射镜装置的特征在于，将形成在上述第一可动框上的梳齿电极与形成在上述第二可动框上的梳齿电极组合，通过形成在上述第二可动框上的梳齿电极与形成在上述固定框上梳齿电极的组合形成第一静电激励器，在上述第一可动框和上述第二可动框的下方设置由倾斜电极构成的第二静电激励器，并且通过上述第一激励器和上述第二激励器使上述反射镜向左右和上下进行动作。