[发明专利]束监控器件、方法和系统有效
| 申请号： | 201210098146.5 | 申请日： | 2012-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN103021775A | 公开（公告）日： | 2013-04-03 |
| 发明（设计）人： | 黃至鸿;张钧琳;郑迺汉;杨棋铭;林进祥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244 |
| 代理公司： | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 陆鑫;房岭梅 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了束监控器件、方法和系统。一种示例性束监控器件包括一维(1D)轮廓仪。该1D轮廓仪包括具有绝缘材料和导电材料的法拉第件。该束监控器件进一步包括二维(2D)轮廓仪。该2D轮廓仪包括具有绝缘材料和导电材料的多个法拉第件。该束监控器件进一步包括控制臂。该控制臂可操作地便于在纵向方向上移动束监控器件，以及便于绕轴旋转束监控器件。 | ||
| 搜索关键词： | 监控 器件 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种束监控器件，包括：一维(1D)轮廓仪，其中所述1D轮廓仪包括具有绝缘材料和导电材料的法拉第件；二维(2D)轮廓仪，其中所述2D轮廓仪包括具有绝缘材料和导电材料的多个法拉第件；以及控制臂，其中所述控制臂可操作地便于所述束监控器件在纵向方向上移动，并且所述控制臂可操作地便于所述束监控器件绕轴旋转。
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