[发明专利]一种拉制白宝石单晶长晶炉结构改进及方法有效
| 申请号： | 201210099937.X | 申请日： | 2012-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN103255478A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 肖型奎;陈猛;刘浦锋;宋洪伟;陈杰;李显元;唐旭 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B15/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 201604 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种拉制白宝石单晶长晶炉结构改进及方法，所述的结构改进在于在一个绝热体中有一个圆筒型腔体，在圆筒型腔体中放入坩埚，在绝热体外部是加热线圈，其特征在于在绝热体上侧方至少有一个开口，在绝热体正上方中间有开口，氧气和不活泼性气体从开口流入腔体，气体从开口流出，开口也是籽晶通过到达溶液的通口。生长过程使用氧气和不活泼气体组成的混合气体混合气体中氧气的浓度在不同的步骤有不同的浓度；并且增加纯化过程。本发明能有效抑制晶体中气泡的产生，不需要抽真空且坩埚的使用寿命长，不仅能拉制c面，也能拉制r面，m面，n面的白宝石单晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拉制 宝石 单晶长晶炉 结构 改进 方法 | ||
【主权项】：
一种拉制白宝石单晶长晶炉结构改进，在一个绝热体(1)中有一个圆筒型腔体，在圆筒型腔体中放入坩埚(2)，在绝热体外部是加热线圈(7)，其特征在于在绝热体上侧方至少有一个开口(4)，在绝热体正上方中间有开口(5)，氧气和不活泼性气体从开口(4)流入腔体，气体从开口(5)流出，开口(5)也是籽晶(6)通过到达溶液的通口。
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