[发明专利]复合透明氧化物薄膜及其制造方法无效
| 申请号： | 201210100234.4 | 申请日： | 2012-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN103366866A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 庄尧智 | 申请（专利权）人： | 和鑫光电股份有限公司 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;H01B1/08;H01B13/00 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 翟羽 |
| 地址： | 中国台湾台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种复合透明氧化物薄膜及其制造方法，其设置缺氧氧化物薄膜在透明导电氧化物薄膜的一表面，以提高所述透明导电氧化物薄膜的载流子浓度，从而降低所述透明导电氧化物薄膜中的电阻值。本发明的复合透明氧化物薄膜除了具有高电导率外，更同时具备高透明度的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 透明 氧化物 薄膜 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种复合透明氧化物薄膜的制造方法，其特征在于，所述复合透明氧化物薄膜的制造方法包括：在一基板上沉积一透明导电氧化物薄膜；在所述透明导电氧化物薄膜的上或下沉积一缺氧氧化物薄膜，所述缺氧氧化物薄膜的含氧量是氧化物化学计量的65％‑99.9％；以及对所述缺氧氧化物薄膜、所述透明导电氧化物薄膜以及所述基板进行热处理程序，以形成一复合透明氧化物薄膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于和鑫光电股份有限公司，未经和鑫光电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210100234.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有导电衬里的高压穿壁套管和其制造方法
- 下一篇：可拉伸电互连件和制造方法
