[发明专利]薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺过程测控方法无效
| 申请号： | 201210100799.2 | 申请日： | 2012-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN102615436A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 景超 | 申请（专利权）人： | 镇江大成新能源有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/42 | 分类号： | B23K26/42 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺过程测控方法，通过高度集成的LIBS模块与激光发射器协同工作，在PPt级精度在线、非接触实现数据采集、处理信号反馈控制。本发明的优点是针对飞秒激光的特殊性以及其特点，通过专门的刻蚀过程测控方法进行测控，以保证刻蚀过程与预设参数的一致性，确保刻蚀效果，薄膜太阳能电池刻蚀的刻槽宽度能够达到3微米，深度的精度控制可以达到100纳米。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 太阳能电池 激光 刻蚀 工艺 过程 测控 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺过程测控方法，其特征在于：通过高度集成的LIBS模块与激光发射器协同工作，在PPt级精度在线、非接触实现数据采集、处理信号反馈控制。
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