[发明专利]一种调焦调平装置及调焦调平方法有效
| 申请号： | 201210101739.2 | 申请日： | 2012-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103365103A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 卢丽荣;李志丹;张冲 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种调焦调平装置，用于调整待测面的焦平面及自身零平面校正，包括：光源模块、光学透镜模块、被测对象以及探测器模块，其特征在于，该光学透镜模块包括投影光阑、调焦双光楔组件、投影光学组件、零平面调整组件和探测光学组件，该光源模块发出的光束经过投影光阑、投影光学组件、第一调焦双光楔后经该被测对象反射形成反射光束，该反射光束依次经过投影光学组件、零平面调整组件以及第二调焦双光楔后被该探测器模块接收。本发明同时提供一种调焦调平方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 调焦 平装 平方 | ||
【主权项】：
一种调焦调平装置，用于调整待测面的焦平面及自身零平面校正，包括：光源模块、光学透镜模块、被测对象以及探测器模块，其特征在于，所述光学透镜模块包括投影光阑、调焦双光楔组件、投影光学组件、零平面调整组件和探测光学组件，所述光源模块发出的光束经过投影光阑、投影光学组件、第一调焦双光楔后经所述被测对象反射形成反射光束，所述反射光束依次经过投影光学组件、零平面调整组件以及第二调焦双光楔后被所述探测器模块接收。
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