[发明专利]基于MOSFET结构的DNA电化学传感器及其制备方法无效
申请号: | 201210103139.X | 申请日: | 2012-04-10 |
公开(公告)号: | CN102628827A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 杨楠;艾洪新;臧伯玮;何越 | 申请(专利权)人: | 凯晶生物科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01N27/26 | 分类号: | G01N27/26 |
代理公司: | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人: | 范晴 |
地址: | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于MOSFET结构的DNA电化学传感器,包括CMOS衬底,所述CMOS衬底上沉积有氮化硅层,所述氮化硅层上覆盖二氧化硅绝缘层;其特征在于所述二氧化硅绝缘层为具有微孔结构的微孔阵列,所述微孔侧壁上SiO2绝缘层通过羧基偶联有DNA探针作为敏感元件。该微孔结构不但可以检测DNA探针与DNA靶标之间的结合而且可以在微孔中进行模板扩增有利于利用pH检测功能来检测DNA的合成,进而具有DNA测序功能。 | ||
搜索关键词: | 基于 mosfet 结构 dna 电化学传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种基于MOSFET结构的DNA电化学传感器,包括CMOS衬底,所述CMOS衬底上沉积有氮化硅层,所述氮化硅层上覆盖二氧化硅绝缘层;其特征在于所述二氧化硅绝缘层为具有微孔结构的微孔阵列,所述微孔侧壁上SiO2绝缘层通过羧基偶联有DNA探针作为敏感元件。
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