[发明专利]盐，光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法无效
| 申请号： | 201210103584.6 | 申请日： | 2012-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN102731347A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 安立由香子;市川幸司 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C309/17 | 分类号： | C07C309/17;C07C303/32;C07C381/12;C07C25/02;C07C17/00;C07D333/46;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李新红 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
本发明提供一种盐，光致抗蚀剂组合物，以及用于制备光致抗蚀剂图案的方法。所述盐由式(I)表示，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，n表示0或1，L1表示单键或其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C10烷烃二基，条件是当n是0时，L1不是单键，环W表示C3-C36脂族环，其中亚甲基可以被氧原子、硫原子、羰基或磺酰基代替，并且其中氢原子可以被羟基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基代替，R1表示羟基或由保护基团保护的羟基，并且Z+表示有机阳离子。 |
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| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 以及 用于 制备 图案 方法 | ||
【主权项】：
1.一种由式(I)表示的盐：![]()
其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，n表示0或1，L1表示单键或其中亚甲基可以被氧原子或羰基代替的C1-C10烷烃二基，条件是当n是0时，L1不是单键，环W表示C3-C36脂族环，其中亚甲基可以被氧原子、硫原子、羰基或磺酰基代替，并且其中氢原子可以被羟基、C1-C12烷基或C1-C12烷氧基代替，R1表示羟基或由保护基团保护的羟基，并且Z+表示有机阳离子。
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