[发明专利]基于重力补偿器的控制方法有效
| 申请号： | 201210104004.5 | 申请日： | 2012-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN103365108A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 赵辉;廖飞红;段立峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于重力补偿器的垂向控制策略及参数校准方法，该重力补偿器可平衡物体重力并在Z、Rx、Ry方向提供物体垂向运动的驱动力，该重力补偿器与垂向电机环路并联，该重力补偿器包括三个独立气路，该重力补偿器与垂向电机共用垂向三个逻辑轴，信号经该逻辑轴后分为两路，一路控制该垂向电机，另一路控制所述重力补偿器。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 重力 补偿 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种基于重力补偿器的控制方法，其特征在于，包括：步骤一：将所述重力补偿器与垂向电机环路并联控制物体做三自由度Z、Rx、Ry运动，所述重力补偿器与垂向电机共用三个分别与所述三自由度对应的逻辑轴，所述重力补偿器提供物体在所述三自由度运动的驱动力；步骤二：信号经三个逻辑轴的控制器后分为垂向电机控制通路和重力补偿器控制环路，所述重力补偿器控制环路包括三个独立气路；步骤三：对所述重力补偿器控制环路的参数进行校准，使用校准后的参数参与重力补偿器控制环路以控制所述重力补偿器。
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