[发明专利]一种化学浴沉积制备氧化锌透明导电薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种化学浴沉积制备氧化锌透明导电薄膜的方法，属于新型电子功能薄膜材料的制备技术领域。一种化学浴沉积制备氧化锌透明导电薄膜的方法，包括以下步骤：Ⅰ)衬底预处理；Ⅱ)将Zn源溶液和Al源溶液混合置于开口烧杯中，使用磁力搅拌器充分搅拌约10-20分钟，然后将络合剂缓慢加入烧杯中，充分搅拌均匀后得到澄清透明的溶液A；Ⅲ)调节溶液A的pH值为9-11的溶液B；Ⅳ)停止搅拌后，将经过预处理的衬底垂直或平行放置于溶液B，并进行恒温加热；经过30-120分钟反应后，取出衬底用去离子水清洗，并在120-150℃条件下烘干，得到透明的氧化锌薄膜。本发明沉积制备出具有较高透光率和较低电阻率的氧化锌薄膜。

主权项

一种化学浴沉积制备氧化锌透明导电薄膜的方法，包括以下步骤：Ⅰ)衬底预处理：将衬底依次用甲苯、丙酮、乙醇在超声清洗机中分别清洗15分钟，并用去离子水冲洗，然后用氮气吹干或放入电热恒温鼓风干燥箱中烘干备用；Ⅱ)将Zn源和Al源溶液混合置于开口烧杯中，Zn离子与Al离子的摩尔质量比16.6∼61.5:1，使用磁力搅拌器充分搅拌约10∼20分钟，然后将适量的络合剂缓慢加入烧杯中，持续搅拌溶液，当充分搅拌均匀后得到澄清透明的溶液A；Ⅲ)向溶液A中加入适量的氨水或氢氧化钠溶液来调节溶液A的pH值为9∼11的溶液B；Ⅳ)停止搅拌后，将经过预处理的衬底垂直或平行放置于溶液B，并连同烧杯一起放入温度为50∼90℃的化学水浴装置中进行恒温加热；经过30∼120分钟反应后，取出衬底用去离子水清洗，并在120∼150℃条件下烘干，得到透明的氧化锌薄膜。