[发明专利]一种平面光波导分路器芯片无效
| 申请号： | 201210107134.4 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102681088A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 李俊画;马剑 | 申请（专利权）人： | 四川天邑康和光电子有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/136 |
| 代理公司： | 成都蓉信三星专利事务所 51106 | 代理人： | 郭霞 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种平面光波导分路器芯片，属于光无源器件领域。一种平面光波导分路器芯片，包括：基片、沉积于基片上的波导芯层、沉积于波导芯层上的上包层以及蚀刻于波导芯层内的光路，所述芯片采用光刻胶进行蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 波导 分路 芯片 | ||
【主权项】：
一种平面光波导分路器芯片，包括：基片(1)、沉积于基片(1)上的波导芯层(2)、沉积于波导芯层(2)上的上包层(3)以及蚀刻于波导芯层(2)内的光路(5)，其特征是：所述光路(5)的输入、输出端设置有与裸纤匹配的输入定位槽(6)和输出定位槽(7)。
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