[发明专利]动态、实时紫外线辐射强度监控器有效
| 申请号： | 201210107471.3 | 申请日： | 2012-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN102901561A | 公开（公告）日： | 2013-01-30 |
| 发明（设计）人： | 黄纲乐;汪业杰;白峻荣;刘旭水;曾国书;李建达 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/16 | 分类号： | G01J1/16;G01J3/28;B05D3/06 |
| 代理公司： | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 陆鑫;房岭梅 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 公开了用于在诸如紫外线固化工艺腔的工艺腔中感测辐射强度的装置和方法。示例性装置包括：工艺腔，在该工艺腔中具有辐射源，其中，辐射源被配置为在工艺腔内发出辐射；辐射传感器，附接至工艺腔；以及光纤，与辐射源和辐射传感器连接，其中，光纤被配置为将发出的辐射的一部分传输至辐射传感器，并且辐射传感器被配置为感测发出的辐射经由光纤的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 动态 实时 紫外线 辐射强度 监控器 | ||
【主权项】：
一种装置，包括：工艺腔，在所述工艺腔中具有辐射源，其中，所述辐射源被配置为在所述工艺腔内发出辐射；辐射传感器，附接至所述工艺腔；以及光纤，与所述辐射源和所述辐射传感器连接，其中，所述光纤被配置为将所发出的辐射的一部分传输给所述辐射传感器，并且所述辐射传感器被配置为检测所发出的辐射的所述一部分的强度。
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