[发明专利]TEM的无失真消像散有效
| 申请号： | 201210107945.4 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102737933A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | M.比肖夫;A.亨斯特拉;U.吕肯;P.C.蒂梅杰 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/153 | 分类号： | H01J37/153 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;卢江 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及TEM的无失真消像散。本发明涉及一种带电粒子装置，该装置配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源（202），在所述束的下游跟随有聚光器光学器件（208）、跟随有样本位置、跟随有物镜（214）、跟随有成像光学器件（216）并且跟随有检测器系统（218，224），其中在物镜与检测器系统之间，第一消像散器（250）被定位用于在将样本（210）成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于物镜与检测器系统之间，因而产生第三自由度用于减少线性失真。本发明还涉及一种使用所述三个消像散器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | tem 失真 消像散 | ||
【主权项】：
一种带电粒子装置，配备有用于发射带电粒子束的带电粒子源（202），在所述束的下游跟随有聚光器光学器件（208）、跟随有样本位置、跟随有物镜（214）、跟随有成像光学器件（216）并且跟随有检测器系统（218，224），其中在所述物镜与所述检测器系统之间，第一消像散器（250）被定位用于在将样本（210）成像于检测器系统上时减少像散并且第二消像散器（252）被定位用于在衍射平面成像于检测器系统上时减少像散，其特征在于第三消像散器（254）定位于所述物镜与所述检测器系统之间，因而产生第三自由度用于减少线性失真。
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