[发明专利]光学长度测量设备

摘要

光学长度测量设备。本发明涉及用于测量被布置为能够至少沿着测量方向彼此移动的两个物体的相对位置的光学长度测量设备。该设备由下列各项构成：计量用具，其与两个物体之一连接并且包括在测量方向上延伸的测量分度；以及与另一物体连接的用于对测量分度进行光学扫描的扫面单元。扫描单元包括光学有效的点状光源以及至少一个光学有效的探测器装置，使得从光学有效的光源发散地发射的射束在测量分度的方向上传播，在测量分度处经历朝向扫描单元的方向的回射并且然后落到光学有效的探测器装置上，使得在光学有效的探测器装置上产生取决于位移的经调制的图案，该图案能够通过光学有效的探测器装置被转换成一个或多个与位置相关的扫描信号。

主权项

一种用于测量被布置为能够至少沿着测量方向（x）彼此移动的两个物体的相对位置的光学长度测量设备，由下列各项构成：－计量用具（10），其与所述两个物体之一连接并且包括在测量方向（x）上延伸的反射的测量分度（12）；和－与另一物体连接的用于对所述测量分度（12）进行光学扫描的扫描单元（20），其中所述扫描单元（20）包括光学有效的点状光源（21）以及至少一个光学有效的探测器装置（22），使得从所述光学有效的光源（21）发散地发射的射束在所述测量分度（12）的方向上传播，在所述测量分度处经历朝向所述扫描单元（20）的方向的回射，并且然后落到所述至少一个光学有效的探测器装置（22）上，使得在所述探测器装置（22）上产生取决于位移的经调制的图案，所述图案能够通过所述光学有效的探测器装置（22）被转换成一个或多个与位置相关的扫描信号，其中－所述扫描单元（20）在测量方向（x）上被纵向引导；并且－所述扫描单元（20）通过耦合点（50）与拨杆（41）铰接地耦合，所述拨杆（41）与另一物体连接并且所述耦合点（50）的位置被选择为使得在所述扫描单元（20）围绕所述耦合点（50）俯仰倾斜的情况下不导致有误的扫描信号。