[发明专利]一种刻蚀电极机构中的上电极无效
| 申请号： | 201210108406.2 | 申请日： | 2012-04-14 |
| 公开（公告）号： | CN103377867A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 游利 | 申请（专利权）人： | 靖江先锋半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 靖江市靖泰专利事务所 32219 | 代理人： | 陆平 |
| 地址： | 214500 江苏省泰州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种刻蚀电极机构中的上电极，包括气体喷孔（1）、安装孔（3），上电极设置成圆台（5），圆台（5）按规律设置有辅助气体分配的沟槽（2），沟槽（2）上等间距设置有气体喷孔（1）。本发明结构简单，操作方便，具有对等离子工作气体的分配功能、具有密封功能、与电场接触的一面具有绝缘特性、耐腐蚀性另一面具有导电性能用于连接1000V正电，提高了加工质量和工作效率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 电极 机构 中的 | ||
【主权项】：
一种刻蚀电极机构中的上电极，包括气体喷孔（1）、安装孔（3），其特征在于：上电极设置成圆台（5），圆台（5）按规律设置有辅助气体分配的沟槽（2），沟槽（2）上等间距设置有气体喷孔（1）。
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