[发明专利]彩色滤光结构及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201210108770.9 申请日: 2012-04-10
公开(公告)号: CN103208497A 公开(公告)日: 2013-07-17
发明(设计)人: 翁福田;郑杰元;吴翰林 申请(专利权)人: 采钰科技股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;G02B5/20;G03F7/00
代理公司: 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 代理人: 姜燕;邢雪红
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明提供一种彩色滤光结构及其制造方法,所述方法包括:提供底层;形成第一色彩层于底层之上;图案化第一色彩层,形成一对第一色彩图案于底层之上、第一开口位于该对第一色彩图案之间,以及第二开口邻近该对第一色彩图案;形成第一介电层于该对第一色彩图案之上以及于为第一开口与第二开口所露出的底层之上;形成第二色彩层于该对第一色彩图案以及第一介电层之上;图案化第二色彩层,形成第二色彩图案于第一开口内;形成第二介电层于第一介电层与第二色彩图案之上;形成第三色彩层于第二介电层之上;以及图案化第三色彩层,形成第三色彩图案于第二开口内。本发明可可提供具有较佳的分辨率与对准准确度的一彩色滤光结构;可减低或消除串音问题。
搜索关键词: 彩色 滤光 结构 及其 制造 方法
【主权项】:
一种彩色滤光结构的制造方法,包括:提供一底层;形成一第一色彩层于该底层之上;图案化该第一色彩层,形成一对第一色彩图案于该底层之上、一第一开口位于该对第一色彩图案之间,以及一第二开口邻近该对第一色彩图案;形成一第一介电层于该对第一色彩图案之上以及于为该第一开口与该第二开口所露出的该底层之上;形成一第二色彩层于该对第一色彩图案以及该第一介电层之上;图案化该第二色彩层,形成一第二色彩图案于该第一开口内;形成一第二介电层于该第一介电层与该第二色彩图案之上;形成一第三色彩层于该第二介电层之上;以及图案化该第三色彩层,形成一第三色彩图案于该第二开口内。
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