[发明专利]彩色滤光结构及其制造方法有效
申请号: | 201210108770.9 | 申请日: | 2012-04-10 |
公开(公告)号: | CN103208497A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 翁福田;郑杰元;吴翰林 | 申请(专利权)人: | 采钰科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;G02B5/20;G03F7/00 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 姜燕;邢雪红 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明提供一种彩色滤光结构及其制造方法,所述方法包括:提供底层;形成第一色彩层于底层之上;图案化第一色彩层,形成一对第一色彩图案于底层之上、第一开口位于该对第一色彩图案之间,以及第二开口邻近该对第一色彩图案;形成第一介电层于该对第一色彩图案之上以及于为第一开口与第二开口所露出的底层之上;形成第二色彩层于该对第一色彩图案以及第一介电层之上;图案化第二色彩层,形成第二色彩图案于第一开口内;形成第二介电层于第一介电层与第二色彩图案之上;形成第三色彩层于第二介电层之上;以及图案化第三色彩层,形成第三色彩图案于第二开口内。本发明可可提供具有较佳的分辨率与对准准确度的一彩色滤光结构;可减低或消除串音问题。 | ||
搜索关键词: | 彩色 滤光 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种彩色滤光结构的制造方法,包括:提供一底层;形成一第一色彩层于该底层之上;图案化该第一色彩层,形成一对第一色彩图案于该底层之上、一第一开口位于该对第一色彩图案之间,以及一第二开口邻近该对第一色彩图案;形成一第一介电层于该对第一色彩图案之上以及于为该第一开口与该第二开口所露出的该底层之上;形成一第二色彩层于该对第一色彩图案以及该第一介电层之上;图案化该第二色彩层,形成一第二色彩图案于该第一开口内;形成一第二介电层于该第一介电层与该第二色彩图案之上;形成一第三色彩层于该第二介电层之上;以及图案化该第三色彩层,形成一第三色彩图案于该第二开口内。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
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H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的