[发明专利]一种基于FPGA的DMD数字无掩模光刻机工件台控制系统无效
| 申请号： | 201210108823.7 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102629081A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 李兰兰;胡松;赵立新;马平;盛壮;刘旗;李金龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B19/18 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 李新华;卢纪 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于FPGA的DMD数字无掩模光刻机工件台控制系统，该控制系统通过通讯接口接收主控计算机发送的指令和数据，并按照主机的指令控制工件台进行相应的运动，从而完成实时定位及调焦等过程。其中，工件台定位部分控制工件台进行定位、调焦运动；位置测量部分实时对工件台的位置进行跟踪测量，该测量数据可进一步供工件台控制模块在控制X、Y工件台的定位中使用；为使工件台长期保持正确的坐标关系，系统还建立了坐标原点以保证精密定位工件台系统在长时间工作时坐标原点的精度；为防止工件台在意外情况下失控，导致结构损坏和精度损失，本系统还建立了工件台限位电路。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 fpga dmd 数字 无掩模 光刻 机工 控制系统 | ||
【主权项】：
一种基于FPGA的DMD数字无掩模光刻机工件台控制系统，其特征在于，该系统包括与主控计算机进行通讯的通讯接口、工件台定位控制部分、工件台位置测量部分、工件台归零部分、工件台限位电路部分。
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