[发明专利]铟镓锌氧化物及其制法与应用有效
| 申请号： | 201210108898.5 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN103373845A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 张育纶;林弘巾;林婉华;苏百樱;王圣棻 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/01 | 分类号： | C04B35/01;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 丁香兰;韩蕾 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种铟镓锌氧化物的制作方法，其是先混合含铟、镓及锌的原料，经过干燥、煅烧等步骤，制作出均匀且高纯度的铟镓锌氧化物。此外，本发明另提供一种用以制作铟镓锌氧化物靶材的组成物，其为含有多元金属氧化物的混合物，尤其包含所述制作方法所制得的铟镓锌氧化物。再者，本发明还提供一种使用所述铟镓锌氧化物制作铟镓锌氧化物靶材的方法及其成品，其靶材中主要是以InGaZnO4为主，而实质上不具有ZnGa2O4。本发明使用IGZO作为制作IGZO靶材的原料，由此减少原料间不均匀的混合，制得高质量与高相对密度的IGZO靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 铟镓锌 氧化物 及其 制法 应用 | ||
【主权项】：
一种铟镓锌氧化物的制作方法，其包含下列步骤：A混合一含铟、镓及锌的原料，以形成一含铟、镓及锌的混合物；B干燥所述含有铟、镓及锌的混合物；以及C煅烧所述经干燥的含有铟、镓及锌的混合物，以制得铟镓锌氧化物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于光洋应用材料科技股份有限公司，未经光洋应用材料科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210108898.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：婴幼儿股静脉穿刺采血术体位模板
- 下一篇：核磁共振检查用充气枕
