[发明专利]一种用于多种气体按规定比例混合的方法和装置

摘要

本发明涉及轴快流CO2激光器，特指一种气体混合的方法和装置，特别是能够为分立供气轴快流CO2激光器提供合适气体配比的方法和装置。本发明首次提出了可以采用同一种型号、通径流量一致的电磁阀，通过控制不同电磁阀开启时间的长短或开启次数的多少实现对多种气体混合配比的控制。本发明能够有效降低热胀冷缩对电磁阀通径影响的不一致性，进而降低热胀冷缩对混合气体成份比例的影响。

主权项

一种用于多种气体按规定比例混合的装置，所述装置包括N2输入电磁阀、CO2输入电磁阀、He输入电磁阀、混气储罐、压力表、混气储罐压力高限到位检测压力开关、混气储罐压力低限到位检测压力开关、混气储罐排气电磁阀，N2、CO2、He分别通过N2输入电磁阀、CO2输入电磁阀、He输入电磁阀与混气储罐相连，压力表、混气储罐压力高限到位检测压力开关、混气储罐压力低限到位检测压力开关安装在混气储罐上，混气储罐和谐振腔通过混气储罐排气电磁阀相连；其特征在于：用于通入N2、CO2、He三种气体的三个流量阀为同一种型号通径一样的电磁流量阀；PLC控制器通过控制N2、CO2、He三种气体的三个电磁流量阀的开启时间或开启次数，来实现N2、CO2、He三种气体按规定比例精确混合。