[发明专利]半导体元件堆叠结构有效
申请号: | 201210111141.1 | 申请日: | 2012-04-16 |
公开(公告)号: | CN103178051A | 公开(公告)日: | 2013-06-26 |
发明(设计)人: | 蒯定明;周永发;龙巧玲;钱睿宏 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 陈小雯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本揭露公开一种半导体元件堆叠结构,其包括多个半导体元件及至少一加固结构。半导体元件相互堆叠,其中至少一半导体元件具有至少一穿硅孔。各至少一加固结构围绕相应的至少一穿硅孔,并且电性隔绝于半导体元件。至少一加固结构包括多个加固件及至少一连结件。加固件位于半导体元件之间,其中加固件在平面上的垂直投影围出封闭区域,且至少一穿硅孔在平面上的投影位于封闭区域内。连结件位于加固件在平面上的垂直投影的重叠区域内,用以连接加固件,而构成至少一加固结构。 | ||
搜索关键词: | 半导体 元件 堆叠 结构 | ||
【主权项】:
一种半导体元件堆叠结构,包括:多个半导体元件,相互堆叠,其中至少一半导体元件具有至少一穿硅孔;以及至少一加固结构,各该至少一加固结构围绕相应的该至少一穿硅孔,并且电性隔绝于该些半导体元件,该至少一加固结构包括:多个加固件,位于该些半导体元件之间,其中该些加固件在平面上的垂直投影围出封闭区域,且该至少一穿硅孔在该平面上的投影位于该封闭区域内;以及至少一连结件,位于该些加固件在该平面上的垂直投影的重叠区域内,用以连接该些加固件,而构成该至少一加固结构。
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