[发明专利]树脂和包含其的光刻胶组合物无效
| 申请号： | 201210112342.3 | 申请日： | 2012-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN102746457A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 增山达郎;市川幸司 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C08F222/14 | 分类号： | C08F222/14;C08F220/18;C08F220/28;C08F222/18;C08F220/22;C08F220/38;G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡胜有;王春伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供树脂和包含所述树脂和产酸剂的光刻胶组合物，所述树脂包含衍生自式(I)所表示的化合物的结构单元： |
||
| 搜索关键词： | 树脂 包含 光刻 组合 | ||
【主权项】：
1.一种树脂，其包含衍生自式(I)所表示的化合物的结构单元：![]()
其中R1表示氢原子或甲基，A2表示二价含氟C1-C12烃基，并且A1表示式(a-g1)所表示的基团：![]()
其中A10在每次出现时独立地为C1-C5脂肪族烃基，A11表示C1-C5脂肪族烃基，X10在每次出现时独立地为-O-、-CO-、-CO-O-或-O-CO-，并且s表示0至2的整数。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友化学株式会社，未经住友化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210112342.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
