[发明专利]形状测量设备无效
| 申请号： | 201210113006.0 | 申请日： | 2012-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN102749040A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 根本贤太郎;山县正意 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邸万奎 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种形状测量设备，其通过探测器以非接触方式扫描工件的表面并测量所述工件的表面形状。所述探测器包括：光照射单元，其将线状光照射到所述工件上；以及成像单元，其使从所述光照射单元照射的光的反射光成像，所述反射光由所述工件反射。所述成像单元包括：成像元件，其使所述工件的像成像；成像透镜，其在所述成像元件的成像平面上形成由所述工件反射的反射光的像；以及透镜更换单元，其使得所述成像透镜可更换。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测量 设备 | ||
【主权项】：
一种形状测量设备，其通过探测器以非接触方式扫描工件的表面并测量所述工件的表面形状，所述探测器包括：光照射单元，其将线状光照射到所述工件上；以及成像单元，其使从所述光照射单元照射的光的反射光成像，所述反射光由所述工件反射，其中所述成像单元包括：成像元件，其使所述工件的像成像；成像透镜，其在所述成像元件的成像平面上形成由所述工件反射的反射光的像；以及透镜更换单元，其使得所述成像透镜可更换。
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