[发明专利]热处理装置有效
申请号: | 201210113436.2 | 申请日: | 2012-04-17 |
公开(公告)号: | CN102748941A | 公开(公告)日: | 2012-10-24 |
发明(设计)人: | 领木直矢;关口大好;岩上祐司 | 申请(专利权)人: | 松下电器产业株式会社 |
主分类号: | F27B9/04 | 分类号: | F27B9/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种不需要多余的空间和追加的热源而对保护气进行预热,实现与被处理物接触的气体的温度的均匀化,且能够抑制热处理不均的热处理装置。供给保护气的气体供给管(19)具备内侧管(27)和外侧管(28),内侧管(27)具有气体喷出口(30),外侧管(28)设置在内侧管(27)的外侧且具有气体喷出口(31),在将气体喷出口(30)的轮廓向外侧管(28)的内壁面垂直投影时的投影图中,气体喷出口(30)与气体喷出口(31)不重叠,由此,从炉体外部向内侧管(27)导入的保护气在通过内侧管(27)的内部、及内侧管(27)与外侧管(28)的间隙的期间被炉内温度预热。其结果是,将均匀的温度的保护气向被处理物(11)供给。 | ||
搜索关键词: | 热处理 装置 | ||
【主权项】:
一种热处理装置,在构成炉体的壁所围成的空间即炉体内部中,实施伴随着向被处理物供给保护气的热处理,所述热处理装置具备:加热器,其对所述炉体内部的温度分布进行控制;第1气体供给管,其设有沿着第1气体喷出方向喷出保护气的第1气体喷出口;第2气体供给管,其在所述第1气体供给管的外侧设有沿着第2气体喷出方向喷出保护气的第2气体喷出口,在将所述第1气体喷出口的轮廓向所述第2气体供给管的内壁面垂直投影时的投影图中,所述第1气体喷出口与所述第2气体喷出口不重叠。
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