[发明专利]连续式卷绕溅射镀膜机有效
| 申请号： | 201210113679.6 | 申请日： | 2012-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN102994963A | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 金烈 | 申请（专利权）人： | 深圳市金凯新瑞光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市惠邦知识产权代理事务所 44271 | 代理人： | 殷齐齐 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 发明涉及真空镀膜装备，尤其涉及一种连续式卷绕溅射镀膜机，包括真空镀室，还包括阴极小室，阴极小室的开口直接连通所述真空镀室，所述阴极小室突出于真空镀室的侧壁之外；所述阴极小室的侧壁具有冷却板，冷却板内具有与制冷装置连通的水管；本发明提供一种气氛隔离效果好，且体积小造价低的连续式卷绕溅射镀膜机。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 卷绕 溅射 镀膜 | ||
【主权项】：
一种连续式卷绕溅射镀膜机，包括真空镀室，其特征在于：还包括阴极小室，阴极小室的开口直接连通所述真空镀室，所述阴极小室突出于真空镀室的侧壁之外；所述阴极小室的侧壁具有冷却板，冷却板内具有与制冷装置连通的水管。
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