[发明专利]一种延迟双脉冲激光产生等离子体的测量装置及测量方法无效
| 申请号： | 201210114370.9 | 申请日： | 2012-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN102680115A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 刘可;张树林 | 申请（专利权）人： | 安徽三联事故预防研究所;安徽三联学院 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人： | 金凯 |
| 地址： | 230061 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种延迟双脉冲激光产生等离子体的测量装置及测量方法，该测量装置包括激光器、通过倍频晶体和二向色分光镜将激光光束分成基频光光路和倍频光光路的二向色光分离系统、等离子体干涉探测系统和等离子体干涉条纹接收系统，所述基频光光路上设有用于将基频光分成两束光的分光系统，其中，第一光束用于聚焦到干涉仪中的靶材产生等离子体，第二光束用于聚焦到第一光束所产生的等离子体中。本发明具有对延迟双脉冲激光在靶材表面和透明介质中产生等离子体均可探测的特点且本发明的延迟双脉冲激光产生等离子体的测量装置，结构简单，制造成本低，实用方便，填补了国内外空白。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 延迟 脉冲 激光 产生 等离子体 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种延迟双脉冲激光产生等离子体的测量装置，包括激光器、通过倍频晶体和二向色分光镜将激光光束分成基频光光路和倍频光光路的二向色光分离系统、等离子体干涉探测系统和等离子体干涉条纹接收系统，所述等离子体干涉探测系统包括干涉仪和倍频光探测系统，其特征在于：所述基频光光路上设有用于将基频光分成两束光的分光系统，其中，第一光束用于聚焦到干涉仪中的靶材产生等离子体，第二光束用于聚焦到第一光束所产生的等离子体中；所述分光系统包括位于基频光光路上的可旋转的半波片和分光用的偏振分光镜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽三联事故预防研究所;安徽三联学院，未经安徽三联事故预防研究所;安徽三联学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210114370.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有至少一个开口的过滤器元件
- 下一篇：一种含有噻呋酰胺和氟硅唑的杀菌组合物
