[发明专利]膜片式流体控制阀

摘要

一种膜片式流体控制阀，上表面侧压力室划分部(32A)的环状平板部(32d)的内周部下表面作为上限位件(51)，并在环状平板部(32d)的所述上限位件(51)的部分的外周侧设置圆环状槽(52)，以在膜片(35)的内周部(35c)与上限位件(51)抵接卡止的状态下纳入波纹部(35b)中位于最内周侧的第1山部(M1)部分且使其不会产生较大变形。采用本发明，可使升程量对应膜片的上表面侧压力与下表面侧压力之间的压力差的变化而产生较大变化，且能够使膜片较难产生不希望的变形和破损等，可提高耐久性和可靠性等。

主权项

一种膜片式流体控制阀，具有用于向阀口开闭方向驱动阀芯的膜片装置，该膜片式流体控制阀的特征在于，所述膜片装置具有膜片和膜片保持部件，该膜片保持部件具有在该膜片的上表面侧划分出压力室的大致盖状的上表面侧压力室划分部，所述膜片的内周部与外周部之间形成有在截面上看具有至少一个向上凸的山部且俯视看呈同心圆环状的波纹部，在所述上表面侧压力室划分部的径向中间部分设有与所述膜片的内周部抵接卡止的上限位件，以限制所述膜片向上方的过度变位，并在所述上表面侧压力室划分部的所述上限位件的外周侧设有圆环状槽或空部，用以在所述膜片的内周部与所述上限位件抵接卡止的状态下容纳所述波纹部中位于最内周侧的山部部分且使该山部部分不会产生较大变形。