[发明专利]一种扫描近场光学显微镜有效
| 申请号： | 201210116669.8 | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN102621351A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 钟海舰;刘争晖;徐耿钊;樊英民;徐科 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/18 | 分类号： | G01Q60/18 |
| 代理公司： | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人： | 孙佳胤;翟羽 |
| 地址： | 215125 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及显微成像领域。本发明提供一种扫描近场光学显微镜，包括真空腔体和光纤探针扫描装置系统，所述光纤探针扫描装置系统位于真空腔体中，所述光纤探针扫描单元包括一光纤探针，一支撑架和一光纤定位槽，所述光纤定位槽位于支撑架上，所述光纤探针的尾端固定于光纤定位槽上，所述光纤探针扫描装置系统包括多个光纤探针扫描单元。本发明的优点在于，通过在真空腔体内设置多个光纤探针扫描单元，从而避免更换光纤探针所面临的巨大的人力、物力和时间的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 近场 光学 显微镜 | ||
【主权项】：
一种扫描近场光学显微镜，包括真空腔体和光纤探针扫描装置系统，所述光纤探针扫描装置系统位于真空腔体中，其特征在于，所述光纤探针扫描单元包括一光纤探针，一支撑架和一光纤定位槽，所述光纤定位槽位于支撑架上，所述光纤探针的尾端固定于光纤定位槽上，所述光纤探针扫描装置系统包括多个光纤探针扫描单元。
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