[发明专利]一种非对称像差补偿装置有效
| 申请号： | 201210117915.1 | 申请日： | 2012-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN103376662A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 王洪尊;李静 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/06 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种非对称微动形变像差补偿装置，包括被补偿镜片和多个驱动器，该多个驱动器能对被补偿镜片的不同位置进行驱动，使得镜片发生形变，从而补偿像差。这种装置具有结构简单，装配难度小；稳定可靠；操作方便等优点。此外，还克服了现有技术中可动镜片对高阶非对称像差无法补偿的难题，通过控制光学元件表面各个区域的面形变化，实现了高阶非对称像差的校正补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对称 补偿 装置 | ||
【主权项】：
一种非对称微动形变像差补偿装置，包括被补偿镜片和多个驱动器，其特征在于，所述多个驱动器能对所述被补偿镜片的不同位置进行驱动，使得镜片发生形变，从而补偿像差。
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