[发明专利]一种具有工位切换功能的掩模台有效
| 申请号： | 201210118780.0 | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN103376664A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 江旭初;周清华;王鑫鑫;徐涛 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有工位切换功能的掩模台，包括：承版台、气浮板、工位切换机构、气浮结构、水平向微调机构和垂向调节机构，所述承版台通过气浮结构固定于气浮板上方，用于承载具有一个或多个图形的掩模版，所述工位切换机构用于驱动承版台移动将掩模版上的图形切换到不同工位；所述水平向微调机构用于驱动气浮板在水平方向移动以实现掩模版水平方向的微调；所述垂向调节机构用于调节掩模版的垂向高度。本发明通过对承版台气浮结构真空、正压的切换以及承版台和导轨之间的柔性解耦机构的垂向解耦作用，解决了工位切换机构在垂向的精度耦合问题，不仅降低了工位切换机构的装配难度，而且提高了切换前后掩模图形区高度位置精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 切换 功能 掩模台 | ||
【主权项】：
一种具有工位切换功能的掩模台，其特征在于，包括：承版台、气浮板、工位切换机构、气浮结构、水平向微调机构和垂向调节机构，所述承版台通过气浮结构固定于气浮板上方，用于承载具有一个或多个图形的掩模版，所述工位切换机构包括切换机构驱动装置、导轨以及柔性解耦机构，所述导轨上具有可沿导轨滑动的滑块，所述滑块通过柔性解耦机构与所述承版台固定连接，所述切换机构驱动装置驱动所述滑块沿导轨滑动，带动所述承版台移动以切换掩模版上的图形工位；所述水平向微调机构用于驱动气浮板在水平方向移动以实现掩模版水平方向的调节；所述垂向调节机构用于调节掩模版的垂向高度。
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