[发明专利]一种基于硅微加工技术的光纤加速度计无效
| 申请号： | 201210118959.6 | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN102621348A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 索智群;乔东海 | 申请（专利权）人： | 中国科学院声学研究所 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 北京亿腾知识产权代理事务所 11309 | 代理人： | 陈霁 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于硅微加工技术的光纤加速度计。该基于硅微加工技术的光纤加速度计包括：加速度-位移敏感结构，具有加速度传感头；加速度传感头包括上表面具有反射镜的检测质量块；干涉腔支架，在所述加速度-位移敏感结构上方；该干涉腔支架内的自聚焦透镜，自聚焦透镜和反射镜构成斐索干涉腔；干涉腔支架内的调节装置，用于调节所述自聚焦透镜的位移。该基于硅微加工技术的光纤加速度计还包括，耦合光纤和尾纤，耦合光纤与尾纤相连接，尾纤在干涉腔支架上方，与自聚焦透镜相连接，耦合光纤在外壳外侧；加速度-位移敏感结构通过上方和下方橡胶圆环与下方的夹具固定在外壳内。本发明提供的一种基于硅微加工技术的光纤加速度计无需真空封装，出射激光光轴在3个正交的自由度可调，具有抗干扰能力强，灵敏度高，结构简单，加工难度低等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 加工 技术 光纤 加速度计 | ||
【主权项】：
一种基于硅微加工技术的光纤加速度计，其特征在于，包括：加速度‑位移敏感结构，具有加速度传感头；所述加速度传感头包括上表面具有反射镜的检测质量块；干涉腔支架，在所述加速度‑位移敏感结构上方；干涉腔支架内的自聚焦透镜，所述自聚焦透镜和所述反射镜构成斐索干涉腔；干涉腔支架内的调节装置，用于调节所述自聚焦透镜的位移。
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