[发明专利]发光二极管及其制作方法有效
申请号: | 201210119410.9 | 申请日: | 2012-04-23 |
公开(公告)号: | CN102629652A | 公开(公告)日: | 2012-08-08 |
发明(设计)人: | 黄少华;吴志强 | 申请(专利权)人: | 厦门市三安光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/12 | 分类号: | H01L33/12;H01L33/00 |
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地址: | 361009 福建省厦*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种具有n型渐变缓冲层的发光二极管及其制作方法。其中,一种发光二极管的外延结构,包括:生长衬底;n型渐变缓冲层,位于所述生长衬底之上;n型限制层,位于所述n型渐变缓冲层之上;有源层,位于所述n型限制层上;p型限制层,位于所述有源层上。本发明利用离子植入法将缓冲层转化为n型渐变缓冲层,在保证获得高质量的外延结构的同时,其应用于垂直结构的发光二极管芯片,能够有效降低接触阻抗。 | ||
搜索关键词: | 发光二极管 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种发光二极管的外延结构,其包括:生长衬底;n型渐变缓冲层,位于所述生长衬底之上;n型半导体层,位于所述n型渐变缓冲层之上;有源层,位于所述n型半导体层上;p型半导体层,位于所述有源层上。
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