[发明专利]同步信号触发扫描方式延迟时间测量方法

摘要

本发明公开了一种同步信号触发扫描方式延迟时间测量方法，沿精密移动平台移动的正方向以不同速度等距离触发脉冲信号至空间光调制器，空间光调制器以相同的中心位置曝光两个大小不等的框至基底表面成像，通过测量曝光的框的位置偏差计算出同步脉冲信号输出到空间光调制器显示图形的延时，进而根据延时对曝光进行补偿。本发明可以准确将图形曝光到指定的位置，提高了曝光图形的绝对定位精度同时也解决了不同曝光速度导致的曝光图形绝对定位精度误差。

主权项

1.一种同步信号触发扫描方式延迟时间测量方法，包括有投影曝光模块、主控模块，投影曝光模块包括有曝光光源、空间光调制器，曝光光源与空间光调制器之间设有光学集光系统，空间光调制器下方设置有倾斜的分束器，分束器下方设置有基底，分束器与基底之间还设有透镜（组），分束器的分光面的前方光路上设有反射镜，反射镜的反射光的前方光路上设有CCD摄像机，所述的基底置于精密移动平台上；所述的主控模块包括有计算机系统、控制器，计算机系统分别通过一个控制器与空间光调制器、曝光光源、带动精密移动平台运动的电机控制连接，计算机系统还通过人工智能模块与CCD摄像机连接；曝光光源发射的光信号经光学集光系统集光后由空间光调制器接收，空间光调制器发射调制光，调制光经过分束器及透镜（组）投影至安装在精密移动平台上的基底表面以进行成像，精密移动平台输出位置同步信号至空间光调制器，分束器将基底表面的图像信号经反射镜传送至CCD摄像机，其特征在于：测量方法包括以下步骤：①、精密移动平台沿着y轴正方向以速度v1运动并输出位置同步信号至空间光调制器时，空间光调制器接受信号后翻转图形，在基底上曝光图形大框；②、精密移动平台沿着y轴正方向以速度v2运动并输出位置同步信号至空间光调制器时，空间光调制器接受信号后翻转图形，在基底上曝光图形小框；③、根据曝光图形的结果，使用高倍率显微镜测量y方向小框和大框的外边差，并记录分别为y1和y2；④、位置同步信号触发的延迟时间(从平台发出同步触发信号到空间光调制器接受到该同步信号的时间)是固定的，所以延时t=中心偏差/速度差，中心偏差=(y2-y1)/2，速度差=v1-v2；所以延时t=(y2-y1)/[2×(v1-v2)]；、进而，在曝光的起始点根据测得的延时t得到补偿延迟误差值为v×t，v是精密移动平台沿着y轴正方向匀速运动的速度，进而,根据得到的补偿延迟误差值对曝光起始点坐标进行补偿，理论计算的曝光起始点坐标是（x，y），补偿后的曝光坐标值是（x，y-v×t）。