[发明专利]悬臂式高频探针卡有效
申请号: | 201210123246.9 | 申请日: | 2012-04-25 |
公开(公告)号: | CN102759644A | 公开(公告)日: | 2012-10-31 |
发明(设计)人: | 顾伟正;谢昭平;何志浩;郑雅允;赖俊良 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 宋焰琴 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种悬臂式高频探针卡。该悬臂式高频探针卡包含一电路板、至少一高频探针与至少一接地针。高频探针包括一信号针,及一以绝缘方式包覆在信号针外部的导电表层,其中,信号针电性连接至电路板的信号电路,导电表层通过至少一导电件而与接地针电性连接,且接地针再电性连接至电路板的接地电位,借此,使得高频探针的信号针获得良好的阻抗匹配,并提升电性传输能力。 | ||
搜索关键词: | 悬臂 高频 探针 | ||
【主权项】:
一种悬臂式高频探针卡,包含:一电路板,其一表面设有多个信号接点、接地接点及一支撑物;至少一高频探针,包括一信号针、一金属膜套管与至少一导体,其中,信号针一端与信号接点电性连接,另一端延伸穿出该支撑物;金属膜套管套设于信号针上,且位于电路板与支撑物之间,该金属膜套管具有一绝缘内层包覆信号针,以及一导电表层与接地接点电性连接;导体为该支撑物所固定,且邻设该信号针并与信号针电性隔离,导体一端延伸穿出支撑物而与该导电表层电性连接;以及至少一接地针,为该支撑物所固定并与该导体电性连接,该接地针一端电性连接至接地接点,另一端延伸穿出该支撑物。
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