[发明专利]晶圆环及其制造方法有效
申请号: | 201210123835.7 | 申请日: | 2012-04-25 |
公开(公告)号: | CN103374215A | 公开(公告)日: | 2013-10-30 |
发明(设计)人: | 简海亮;刘涛 | 申请(专利权)人: | 深圳欧菲光科技股份有限公司 |
主分类号: | C08L69/00 | 分类号: | C08L69/00;C08K13/04;C08K7/06;B29C39/02;B29C41/08 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 邓云鹏 |
地址: | 518106 广东省深圳市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种晶圆环,所述晶圆环的材料由质量百分比为60%~81%的聚碳酸酯、18.5%~38.5%的碳纤维以及0.5%~1.5%的助剂构成;本发明还涉及一种晶圆环的制造方法,包括以下步骤:将包含聚碳酸酯、碳纤维以及助剂的原料搅拌均匀;去除原料本身的水分;熔化去除水分后的原料;及将熔化后的原料注入模具中成型。上述晶圆环的制造方法制造的晶圆环属于塑料制品,成本较传统不锈钢材质晶圆环低,同时重量较传统不锈钢材质晶圆环轻,进行异地运输时极大程度节省了运输成本。 | ||
搜索关键词: | 圆环 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种晶圆环,其特征在于,所述晶圆环的材料由质量百分比为60%~81%的聚碳酸酯、18.5%~38.5%的碳纤维以及0.5%~1.5%的助剂构成。
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