[发明专利]轨迹跟踪式干涉信号计数细分装置及方法

摘要

本发明公开了一种轨迹跟踪式干涉信号计数细分装置及方法。该装置包括光电信号接收与转换电路、信号调理电路、至少两个模拟数字转换器、位置跟踪脉冲发生电路、细分电路模块、大小数结合及位移解算电路等。其中，通过对双路干涉信号分析处理产生大数、对单路信号细分产生小数，使得干涉信号的相位非正交误差不会影响细分精度；采用基于特征位置的轨迹跟踪方法实现干涉条纹计数，解决在在有振动等干扰情况下的正确计数问题；采用硬件电路实现轨迹跟踪细分计数，计数速度只受硬件电路的频响限制，因而可以用于高速位移测量。

主权项

一种轨迹跟踪式干涉信号计数细分装置，其对两路干涉条纹信号进行处理，该装置包括：位置跟踪脉冲产生电路，其采用跟踪脉冲对两路干涉条纹信号的特征位置进行位置跟踪；位置跟踪编码及辩向计数电路，其对特征位置的跟踪脉冲进行编码判断并产生计数脉冲和位移方向信号；细分电路模块，其对两路干涉条纹信号中的任意一路产生细分小数信号和细分脉冲信号；大小数结合及位移解算电路，其将计数脉冲、位移方向信号、细分小数信号以及细分脉冲信号结合处理获得位移值。