[发明专利]用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器

摘要

本发明涉及用于粒子光学镜筒的镜筒内检测器。本发明涉及一种镜筒内反向散射电子检测器，该检测器放置于用于SEM的组合式静电/磁物镜中。将检测器形成为带电粒子敏感表面，优选为闪烁体盘（406），其充当电极面之一（110）从而形成静电聚焦场。在闪烁体中生成的光子由光子检测器（202，408）（比如光电二极管或者多像素光子检测器）检测。物镜可以配备有用于检测被保持与轴更接近的次级电子的另一电子检测器（116）。光导（204，404）可以用来赋予在光子检测器与闪烁体之间的电绝缘。

主权项

一种带电粒子镜筒，包括：· 带电粒子源，用于产生带电粒子束（100），· 样本载体（104），用于对样本（102）保持和定位，· 物镜，用于将所述带电粒子束聚焦于所述样本上，所述物镜具有：      ○ 第一（106）和第二（108）电极，用于生成聚焦静电场，所述第一电极定位于所述第二电极与所述样本载体之间，以及      ○ 第一和第二极靴，用于生成聚焦磁场，所述第一极靴定位于所述第二极靴与所述样本载体之间，      ○ 所述静电场和所述磁场示出重叠，· 检测器，在所述第一电极的源侧，用于检测带电粒子，所述检测器示出对带电粒子敏感的表面，其特征在于：· 所述第二电极在所述第二极靴与所述样本载体之间示出与所述样本载体相向的电极表面，所述电极表面示出用于传送所述带电粒子束的钻孔（306），并且· 所述敏感表面（110）形成所述电极表面的至少部分。