[发明专利]一种微型热驱动气流陀螺及其制作方法有效
| 申请号： | 201210130318.2 | 申请日： | 2012-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN102645212A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 朱荣;蔡嵩林;丁衡高 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01C19/58 | 分类号： | G01C19/58 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩国胜;王莹 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微型角速度传感器，特别是涉及一种微型热驱动气流陀螺。本发明包括微腔体、三根加热元件、两对热敏元件、检测电路和控制电路模块构成；微腔体高度为100微米～1000微米；加热元件和热敏元件悬固在微腔体的中部，加热元件在微腔体中左右平行排列，相邻两根加热元件之间均有一对热敏元件，每对热敏元件对称分布在微腔体的前后侧；检测电路可检测热敏元件温度信号；控制电路可控制加热元件加热。本发明微腔体中气体热膨胀流或收缩流稳定，气流可控性好；有效抑制热对流，减小外界加速度对传感器灵敏度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 驱动 气流 陀螺 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种微型热驱动气流陀螺，其特征在于，包括微腔体、三根加热元件、两对热敏元件以及检测电路和控制电路模块；所述微腔体高度为100微米～1000微米；所述三根加热元件和两对热敏元件悬固在微腔体的中部；所述三根加热元件在所述微腔体中左右平行排列，依次间隔布置；相邻两根加热元件之间均有一对热敏组件，每对热敏组件对称分布在微腔体的前后侧；所述检测电路和控制电路模块包括检测电路单元和控制电路单元，检测电路单元与各热敏元件相连，检测热敏元件温度信号；控制电路单元，与各加热元件相连，控制加热元件加热。
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