[发明专利]金属刀模板电解蚀刻机

摘要

本发明公开了一种金属刀模板电解蚀刻机，包括机架、上电极、下电极和电解液收集槽，机架上还移动配合有平移架，上电极装连在平移架上，平移架上且位于上电极旁具有至少两个与供液装置连通的出液器，出液器的出液口均朝向上电极的底部及底面下方的空间，下电极的上表面上设有绝缘的工件支撑件，工件支撑件上具有液体过道，或者所述下电极的上表面上设有若干个绝缘的工件支撑条，相邻的工件支撑条之间的间隙构成液体过道，下电极内部或侧面具有通往下电极上表面的液流通道，液流通道与液体过道连通。本发明不产生烧蚀，能够满足大蚀刻深度、高均匀度、高精度金属刀模板蚀刻要求。

主权项

一种金属刀模板电解蚀刻机，包括机架（1）、上电极（7）、下电极（8）和电解液收集槽（9），其中所述电解液收集槽（9）位于机架（1）上，所述下电极（8）位于电解液收集槽（9）中，其特征在于：a、所述机架（1）上还移动配合有平移架（11），所述上电极（7）装连在平移架（11）上，所述平移架（11）上且位于上电极（7）旁具有至少两个出液器（7‑1），所述出液器（7‑1）的出液口均朝向上电极（7）的底部及底面下方的空间，平移架（11）移动时，上电极（7）和出液器（7‑1）能够从下电极（8）上方通过，b、所述下电极（8）的上表面上设有绝缘的工件支撑件（8‑1），工件支撑件（8‑1）上具有液体过道（8‑1‑1），或者所述下电极（8）的上表面上设有若干个绝缘的工件支撑条，相邻的工件支撑条之间的间隙构成液体过道（8‑1‑1），c、所述下电极（8）内部或侧面具有通往下电极上表面的液流通道（8‑2），液流通道（8‑2）与所述液体过道（8‑1‑1）连通。