[发明专利]一种极紫外光刻复眼照明系统的设计方法

摘要

本发明提供一种极紫外光刻复眼照明系统的设计方法，具体步骤为：跟据指定的投影物镜的参数确定照明系统出瞳距离；确定坐标系，获取各器件的坐标；根据所述出瞳距离和掩膜面中心坐标，确定出瞳中心的坐标；令出瞳中心与掠入射镜非邻近焦点重合，计算出掠入射镜的曲率半径；令第一中继镜的非邻近焦点与掠入射镜的邻近焦点重合，计算出第一中继镜的曲率半径；令第二中继镜的邻近焦点与第一中继镜的邻近焦点重合，计算出第二中继镜的曲率半径；令聚光镜的非邻近焦点为匀光系统出射光线的会聚点，根据所述会聚点确定匀光系统中光阑复眼平板和视场复眼平板上复眼元的排布。本发明设计方法可以适用于不同的投影物镜。

主权项

一种极紫外光刻复眼照明系统的设计方法，该照明系统包括光源、聚光镜、由光阑复眼平板和视场复眼平板组成的匀光系统、由第一中继镜和第二中继镜组成的中继镜组及掠入射镜，其特征在于，具体步骤为：步骤101、跟据指定的投影物镜的参数确定照明系统出瞳距离L；步骤102、确定掠入射镜的对称轴为照明系统的主光轴，选定掠入射镜的顶点作为原点，以主光轴为z轴，依照右手坐标系原则建立坐标系(x，y，z)，获取第一中继镜的顶点坐标(ZG21，YG21)、第二中继镜的顶点坐标(ZG22，YG22)、掩膜面的中心坐标(ZMASK，YMASK)；步骤103、根据所述出瞳距离L和掩膜面中心坐标(ZMASK，YMASK)，确定照明系统出瞳中心的坐标(ZEP，YEP)；步骤104、令出瞳中心与掠入射镜非邻近焦点Fcollector1重合，根据(ZEP，YEP)计算出掠入射镜的曲率半径RG1；步骤105、令第一中继镜的非邻近焦点Frelay11与掠入射镜的邻近焦点Fcollector2重合，根据(ZG21，YG21)计算出第一中继镜的曲率半径RG21；步骤106、令第二中继镜的邻近焦点Frelay21与第一中继镜的邻近焦点Frelay12重合，根据(ZG22，YG22)计算出第二中继镜的曲率半径RG22；步骤107、令聚光镜的非邻近焦点为匀光系统出射光线的会聚点，根据所述会聚点确定匀光系统中光阑复眼平板和视场复眼平板上复眼元的排布。