[发明专利]感光性树脂组合物在审
| 申请号： | 201210134595.0 | 申请日： | 2012-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN102749807A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 三浦洋之;宫芳子 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/00;G02B5/20 |
| 代理公司： | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人： | 徐申民;汤国华 |
| 地址： | 日本东京都中*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： |
通过使用含有(A)、(B)以及(C)的感光性树脂组合物，可得到显影不均得到改善的分辨率高的图案。(A)树脂(B)下式(1)所示的聚合性化合物(C)具有下式(2)所示结构的光聚合引发剂<式(1)> |
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| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种感光性树脂组合物，含有(A)树脂、(B)下式(1)所示的聚合性化合物以及(C)具有下式(2)所示结构的光聚合引发剂，<式(1)>![]()
式中，R1表示氢原子或者甲基，X表示单键、-[(CH2)k]O-、-(CH2CH2O)l-、-[CH2CH(CH3)O]m-、-[CH2CH(OH)CH2O]n-、![]()
或者![]()
k、m以及n表示1～15，l表示2～15的整数；<式(2)>![]()
式中，*表示各自的键合位置。
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