[发明专利]一种化学机械平坦化浆料无效
| 申请号： | 201210135084.0 | 申请日： | 2012-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN103382368A | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 徐春 | 申请（专利权）人： | 安集微电子（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C23F3/04 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区张*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学机械平坦化浆料，包括研磨颗粒、氧化剂，抛光速率提升剂，抛光表面改善剂和载体。本发明的化学机械平坦化浆料可以提高硬盘金属抛光速率，同时减少表面划伤和局部或整体腐蚀，降低表面粗糙度和波纹度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 平坦 浆料 | ||
【主权项】：
一种化学机械平坦化浆料，其包含：研磨颗粒、氧化剂、抛光速率提升剂、抛光表面改善剂和载体。
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