[发明专利]一种LED芯片及其相应的制作方法无效
申请号: | 201210135397.6 | 申请日: | 2012-05-03 |
公开(公告)号: | CN102646765A | 公开(公告)日: | 2012-08-22 |
发明(设计)人: | 张昊翔;封飞飞;高耀辉;万远涛;金豫浙;李东昇;江忠永 | 申请(专利权)人: | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/44 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 郑玮 |
地址: | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提出一种LED芯片,至少包括:外延层,所述外延层包括N型层、位于所述N型层上的发光层、及位于所述发光层上的P型层;金属功能层,所述金属功能层位于所述P型层上;银迁移阻挡层,所述银迁移阻挡层位于所述P型层上,且位于所述金属功能层外围。本发明还提供了LED芯片的制作方法,以解决反射镜层的扩散和电迁移,改善LED的可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 led 芯片 及其 相应 制作方法 | ||
【主权项】:
一种LED芯片的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:提供一衬底,在所述衬底的表面上形成外延层,所述外延层由下至上依次沉积包含有N型层、发光层和P型层;刻蚀P型层、发光层,形成由上至下贯穿P型层、发光层、直到N型层的台阶;沉积绝缘材料覆盖所述台阶侧面、所述N型层和所述P型层,通过刻蚀P型层表面的绝缘材料形成银迁移阻挡层和窗口,每个窗口底部暴露出P型层;在所述每个窗口形成金属功能层。
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