[发明专利]感测装置及其制作方法有效
| 申请号： | 201210136854.3 | 申请日： | 2012-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN103162727A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 陈荣泰;张金生;林靖渊;朱俊勋 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01D11/24 | 分类号： | G01D11/24;G01D11/26;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 祁建国;梁挥 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感测装置及其制作方法。感测装置利用气密滤片配合气密封层来密封壳体的排气孔，气密滤片具有数纳米至数百纳米的单向通道(one-way pass)，提供气体分子经由单向通道排出腔体外。气密滤片亦可避免气体密封层材料流入腔体内，因此相较于结构松散的焊料或密封材料，可以提供良好的密封性，有利于腔体内的环境条件的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种感测装置，包括：壳体，其包括至少排气孔，上述排气孔贯穿上述壳体的第一表面及第二表面；气密滤片，其至少覆盖上述排气孔，上述气密滤片具有剖面呈不规则曲线的至少一通道，上述通道贯通上述气密滤片；气密封层，其至少覆盖上述排气孔和上述气密滤片；以及感测元件，设置于上述壳体内。
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