[发明专利]绝对位移测量装置

摘要

绝对位移测量装置，涉及一种绝对位移测量装置，解决现有的绝对位移测量装置中器件定制成本高，信号处理难度较大的问题，包括标准光栅、扫描掩膜、光源、光学系统、光电探测器及信号处理电路，其中，标准光栅进一步包括条增量码道，条绝对码道，n条参考位置码道。增量码道包括第一明暗条纹按照第一增量周期沿测量方向排列，绝对码道包含绝对位置信息的图案沿测量方向排列，每条参考码道包括明暗条纹按照一种增量周期沿测量方向排列，该周期比增量码道周期长。光源发出光线经光学系统由标准光栅照射到扫描掩膜上，该光电探测器接收到绝对位置信号、参考位置信号及细分信号。信号处理电路处理来自光电探测器接收到的光信号得到位置值。

主权项

绝对位移测量装置，该装置包括光源（1）、光学系统（2）、标准光栅（3）、扫描掩膜（4）、光电探测器（5）和信号处理电路（6），所述标准光栅（3）包括绝对码道（3‑1）、增量码道（3‑2）和n条参考码道（3‑3）；且绝对码道（3‑1）、增量码道（3‑2）和n条参考码道（3‑3）相互平行排列，所述绝对码道（3‑1）上包含绝对位置信息的图案，增量码道（3‑2）包括按照第一增量周期沿测量方向排列的第一明暗条纹，每条参考码道（3‑3）包括按照一种增量周期沿测量方向排列的明暗条纹，所述参考码道（3‑3）的周期比增量码道（3‑2）的周期长；n为正整数，且n大于等于2；其特征是，所述光源（1）发出光线经光学系统（2）转换为准直入射光线，所述准直入射光线通过标准光栅（3）反射或透射至扫描掩膜（4）后被光电探测器（5）接收，所述光电探测器（5）接收经标准光栅（3）上的绝对码道（3‑1）、n条参考码道（3‑3）和增量码道（3‑2）后分别形成绝对位置信号、n条参考位置信号和细分信号并输出至信号处理电路（6）进行处理，所述信号处理电路（6）输出精确的绝对位置信号。