[发明专利]蓝光LED蒸镀用铟锡氧化物靶的制备方法有效
| 申请号： | 201210137632.3 | 申请日： | 2012-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN102650042A | 公开（公告）日： | 2012-08-29 |
| 发明（设计）人： | 陈明飞 | 申请（专利权）人： | 长沙壹纳光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08 |
| 代理公司： | 长沙永星专利商标事务所 43001 | 代理人： | 周咏;米中业 |
| 地址： | 410600 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝光LED蒸镀用铟锡氧化物靶的制备方法。该方法包括如下步骤：将经过一次烧结得到的铟锡氧化物初靶进行二次烧结，控制二次烧结时的温度为1450～1480℃，氧分压-0.01Mpa～-0.095Mpa，烧结时间为2～3小时。本发明能提高氧化锡在氧化铟中的固溶度，使铟锡氧化物靶导电性更好，将此铟锡氧化物靶用于蒸镀蓝光LED，获得的铟锡氧化物膜具有更高的导电性和更高的蓝光透过率。 | ||
| 搜索关键词： | led 蒸镀用铟锡 氧化物 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种蓝光LED蒸镀用铟锡氧化物靶的制备方法，其特征是将经过一次烧结得到的铟锡氧化物初靶进行二次烧结，烧结温度为1450～1480℃，调整氧分压至‑0.01Mpa～‑0.095Mpa，烧结时间为2～3小时。
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