[发明专利]制备高分辨率特征物的方法、组合物和导电特征物有效
| 申请号： | 201210138551.5 | 申请日： | 2012-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN102776507B | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 吴贻良 | 申请（专利权）人： | 施乐公司 |
| 主分类号： | C23C26/00 | 分类号： | C23C26/00;C23C24/08;H01B5/14;H01B13/00;C09D11/52 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 李丙林,曹桓 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种制备高分辨率特征物的方法、组合物和导电特征物。一种在基底上形成高分辨率特征物的方法，该方法包括沉积含有一种物质和一种溶剂的液体组合物至基底上以形成沉积特征物，在沉积期间或沉积之后加热沉积特征物至加热的温度以形成具有中心区域和边缘区域的中间特征物，施加胶粘物质至中间特征物表面的至少一部分，以及将胶粘物质与中间特征物的中心区域的至少一部分一起移除以在基底上形成高分辨率特征物。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 高分辨率 特征 方法 组合 导电 | ||
【主权项】：
一种在基底上形成高分辨率特征物的方法，该方法包括：沉积含有一种物质和一种溶剂的液体组合物至基底上以形成平面沉积特征物，在沉积期间或沉积之后加热平面沉积特征物至加热的温度以形成具有中心区域和边缘区域的平面中间特征物，其中所述液体组合物的溶剂具有比加热温度高100℃或更多的沸点，并且其中所述平面中间特征物在其中心区域包含剩余量的溶剂，施用胶粘物质至平面中间特征物的中心区域的至少一部分，以及将所述胶粘物质与平面中间特征物的中心区域一起移除，在基底上剩下平面中间特征物的边缘区域，以在基底上形成高分辨率特征物。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于施乐公司，未经施乐公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210138551.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
