[发明专利]一种碱制绒工艺无效
| 申请号： | 201210140697.3 | 申请日： | 2012-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN102703903A | 公开（公告）日： | 2012-10-03 |
| 发明（设计）人： | 张映斌;叶权华 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及高效太阳能电池制造技术领域，特别是一种碱制绒工艺，其主要步骤为：先将硅片在碱性溶液中刻蚀形成金字塔绒面结构，再在HF、HNO3和CH3COOH混合溶液中刻蚀，最后经HF或HCl酸洗、水洗和烘干得产品。本发明的碱制绒工艺是对在传统工艺中形成的金字塔绒面进行抛光处理，所得硅片反射率较传统工艺有一定提高，钝化和金属化效果得到了有效提升，在本质上提高了电池效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碱制绒 工艺 | ||
【主权项】：
一种碱制绒工艺，其特征是：包括如下步骤:（1）将硅片置入碱性溶液中刻蚀，然后用去离子水冲洗，使硅片表面形成金字塔绒面结构；（2）将上步所得硅片置入温度为5‑25℃的HF、HNO3和CH3COOH混合溶液中进行刻蚀1‑600s；（3）将上步所得硅片用HF或HCl溶液将表面颗粒和金属离子清洗干净，再用去离子水冲洗后烘干。
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