[发明专利]一种激光检测连铸坯表面振痕的方法无效
申请号: | 201210140816.5 | 申请日: | 2012-05-08 |
公开(公告)号: | CN102679917A | 公开(公告)日: | 2012-09-19 |
发明(设计)人: | 王坤;温娟;吕迺冰;刘晓岚;王立峰;周德光;李永东;王全礼;杨子森 | 申请(专利权)人: | 首钢总公司 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30;G01B11/22;G01B11/14 |
代理公司: | 北京华谊知识产权代理有限公司 11207 | 代理人: | 刘月娥 |
地址: | 100041 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种激光检测连铸坯表面振痕的方法,属于冶金检测分析技术领域。该方法利用点扫描等技术对板坯、方坯、异型坯等各类钢种连铸坯表面振痕深度、宽度等参数进行检测分析。优点在于,可获得精准的铸坯振痕深度和清晰的二维或三维铸坯振痕形貌图像,能够从整体上观测分析铸坯表面的振痕深度和间距,操作方便,测量精度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 检测 连铸坯 表面 方法 | ||
【主权项】:
1.一种激光检测连铸坯表面振痕的方法,其特征在于,技术步骤为:(1)将连铸坯振痕样品放在激光共聚焦显微镜的载物台上,打开激光共聚焦显微镜操作界面,在同一平面内X和Y方向上0mm~100mm距离内进行连铸坯表面振痕深度和间距的扫描测量;(2)采用激光共聚焦显微镜短波长光源,实现X和Y方向0mm~100mm距离内高速扫描,得到0.01μm~0.12μm线宽及间距的平面分辨率,利用点扫描技术对样品进行二维或三维空间上的点分解,并利用激光束对点扫描技术分解的点进行逐点逐行扫描成像,最后通过analySIS®AUTO标准金相分析软件观测,组合成整体二维或三维图像;(3)选取连铸坯表面振痕上的任意位置,对其深度进行多点测量,并对检测数据进行统计分析,Z向分辨率为0.01μm~0.10μm。
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