[发明专利]一种顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法无效
| 申请号： | 201210141255.0 | 申请日： | 2012-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN102683423A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 张耿;向桂华;王娟;赵伟明;孙庆华;蔡君蕊 | 申请（专利权）人： | 东莞彩显有机发光科技有限公司;东莞有机发光显示产业技术研究院;东莞宏威数码机械有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/267;H01L29/45 |
| 代理公司： | 东莞市冠诚知识产权代理有限公司 44272 | 代理人： | 张作林 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管及其制作方法，其中，薄膜晶体管包括基板、有源层、绝缘层、栅极、源极和漏极，有源层设于基板之上，源极设于有源层上侧之一端，漏极设于有源层上侧之另端，绝缘层设于有源层上侧之中部，栅极设于绝缘层之上；该有源层与源极之间设有金属化层，该有源层与漏极之间也设有金属化层；该有源层为复合膜层结构，从下而上依次为贫氧型金属氧化物膜层、富氧型金属氧化物膜层。本发明有源层由同一材料不同工艺制作成复合膜层，并在源/漏电极接触区通过金属化的方法，降低接触电阻；采用优化溅镀工艺制作绝缘层，避免等离子体损伤沟道有源层。通过退火处理，得到高性能的顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 金属 氧化物 薄膜晶体管 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种顶栅结构金属氧化物薄膜晶体管，包括基板、有源层、绝缘层、栅极、源极和漏极，有源层设于基板之上，源极设于有源层上侧之一端，漏极设于有源层上侧之另端，绝缘层设于有源层上侧之中部，栅极设于绝缘层之上；其特征在于：该有源层与源极之间设有金属化层，该有源层与漏极之间也设有金属化层；该有源层为复合膜层结构，从下而上依次为贫氧型金属氧化物膜层、富氧型金属氧化物膜层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东莞彩显有机发光科技有限公司;东莞有机发光显示产业技术研究院;东莞宏威数码机械有限公司，未经东莞彩显有机发光科技有限公司;东莞有机发光显示产业技术研究院;东莞宏威数码机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210141255.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：变速装置、包括这种变速装置的驱动系统及其控制方法
- 下一篇：可旋转双睫毛膏
- 同类专利
- 专利分类
