[发明专利]降低太阳能8寸单晶硅片氧含量的方法无效
| 申请号： | 201210142939.2 | 申请日： | 2012-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN102628178A | 公开（公告）日： | 2012-08-08 |
| 发明（设计）人： | 唐旭辉;高彬彬 | 申请（专利权）人： | 江苏聚能硅业有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种降低太阳能8寸单晶硅片氧含量的方法，其应用于通过坩埚进行的直拉单晶硅的工艺流程中，在该流程中，单晶硅在旋转的坩埚中进行加热拉晶，且单晶硅在坩埚中主动旋转，所述坩埚旋转的转速N为：6r/min≤N≤10r/min。优化后，单晶硅的旋转方向与坩埚的旋转方向相反；单晶硅的转速n为：10r/min≤n≤14r/min；坩埚的内壁温度t为：1410℃≤t≤1420℃。本发明所具有的优点是：能够有效降低太阳能8寸单晶硅片的氧含量。 | ||
| 搜索关键词： | 降低 太阳能 单晶硅 含量 方法 | ||
【主权项】：
降低太阳能8寸单晶硅片氧含量的方法，其应用于通过坩埚进行的直拉单晶硅的工艺流程中，在该流程中，单晶硅在旋转的坩埚中进行加热拉晶，且单晶硅在坩埚中主动旋转，其特征在于：所述坩埚旋转的转速N为：6r/min≤N≤10r/min。
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